强省会 青先锋|楚微半导体：担任国产装备验证的光荣使命

编者按

青年是民族的希望，担负着复兴民族的重任。青年像初升的朝阳，带来新的希望；青年像一团火苗，洋溢着青春的热情；青年像海绵里的水，迸发着无穷的潜力。

2022年，是中国共产主义青年团成立100周年。长沙高新区共青团员始终高举“五四”火炬，怀揣雄心壮志，坚定不移跟党走，一批又一批的麓谷青年在科技创新的第一线“冒尖”，“80”顶上、“90”登场，一支支青年队伍如同奔涌的浪潮，正汇入大国创新的海洋。

科技创新主战场，跃动着青年的力量。本报联合长沙高新区团工委推出《强省会  青先锋》栏目，聚焦高新区青年突击队，讲述他们拼搏、奋斗的青春。

长沙晚报掌上长沙4月13日讯（高新麓谷记者 柯鸣）一块指甲盖大小的“芯片”可以改变一个世界，一项技术能够创造一个奇迹。作为2021年湖南省“十大科技攻关项目”之一的湖南楚微半导体科技有限公司（简称“楚微半导体”），其构建的8英寸集成电路成套装备青年突击队冲在项目科研攻关一线，为“中国芯”发展贡献麓谷力量。近日，记者走进楚微半导体8英寸集成电路成套装备青年突击队，了解科研攻关背后的故事。

“我们的团队十分年轻化，8英寸集成电路成套装备青年突击队总共10人，年龄区间在26岁至36岁，平均年龄约30岁，大部分为硕士研究生以上学历或有多年行业经验。团队成员涵盖产品工艺、设备、厂务、生产、质量等产线关键岗位，拥有各类专业技术型人才。”谈及团队发展，8英寸集成电路成套装备青年突击队队长管斌总是“幸福感满满”。“能够遇到这样一个团队十分不易，大家多年的磨合才组建起来，目前工作中大家互相帮扶，在科研中取长补短，也取得了一定的成绩。”

“青春奉献在科研，我们无怨无悔。”8英寸集成电路成套装备青年突击队队员陈龙告诉记者，在研发困难期，产品遇到了沟槽结构深度均匀性差的问题。在总结问题关键点，通过查找科研文献，调配刻蚀气体、机台功率、偏置信号等因素，探索对沟槽的形貌的影响。根据交叉实验的设计方法，指定了十余组方案。突击队成员6天均未休息，近百轮的切片观察形貌，最终确定了最优程序，深度均匀性控制在±0.1um，达到业界高标准水平。“此次的优化提升，为我们建立了刻蚀工艺调节数据库，通过拟合，得到了可控的参数关系，为后续的刻蚀工艺研发准备了充足的数据支撑。”

成立专项突击小组、开会讨论、溯源摸排……遇到科研难题时，突击队成员总是不约而同聚到一起，共同为难点堵点出谋划策。“我们通常从产品结构和制造工艺出发，建立失效模型和优化方案，及时跟踪线上数据，反馈实验结果，复盘事件经验，并补充至产品异常手册中，不断积累克难经验，稳步前进。”管斌总结道。

“青年突击队的精神就是坚持走创新驱动发展之路，致力于科研攻关，解决‘卡脖子’难题，为服务国家战略需求和经济社会发展，贡献更多智慧和力量。”8英寸集成电路成套装备青年突击队成员认为，要将钉钉子精神、钻研精神落实到每一次科研攻关之中，真正在科研一线展现青年突击队的精神和风采。

如何真正将青年突击队的精神落到实处？管斌分享了一个小故事。此前，在楚微半导体MOS产品平台建立阶段，出现多批次产品漏电失效的异常情况，良率只有60%，影响后续流片。针对漏电失效，青年突击队敢于争先，积极组织分析，通过IV曲线测试、热点分析、FIB SEM切片分析，定位到了产品结构异常点。在工艺副总管斌的统筹下，从产品原理、结构出发，技术人员在沟槽刻蚀、多晶硅沉积、多晶硅刻蚀、接触孔刻蚀、金属沉积五大工艺阶段设计优化实验，开展产品优化验证，在三轮实验验证下，产品最终良率突破98%，实现了MOS产品工艺平台的突破，丰富了公司的产品品类，为后续的MOS平台新品提供了保障。

“作为新一代的青年人，尤其是有知识、有能力、有抱负的青年人，应以百年奋斗史涌现出来的优秀共产党员为榜样！新的百年，听党话、感党恩、跟党走！同心向党，奔赴远方！”8英寸集成电路成套装备青年突击队队员们纷纷表示，要做有责任意识和创新精神的建设者，敢于担当、勇于奋斗，要有“锐意创新的勇气、敢为人先的锐气、蓬勃向上的朝气”，将个人梦与中国梦结合起来，将个人职业进步与公司发展结合起来，为中国芯而奋战。